WTTM01 Mikrosystemtechnik
Koordination
Fakultät: Fakultät für Maschinenbau
Institut: Institut für Mikrostrukturtechnik
Koordinator: Prof. Saile
Modulprüfung
Die Modulprüfung erfolgt in Form von mündlichen und schriftlichen Teilprüfungen.
Im Rahmen des Moduls sind die Veranstaltungen [21861], [21874] und [21875] verpflichtend.
Eine der beiden Prüfungen [21861], [21874] muss schriftlich, die anderen werden mündlich geprüft. Das Praktikum ist Pflicht und zählt zu der prüfung, die schriftlich abgelegt wurde.
Die Prüfungen werden einmal im Semester angeboten. Wiederholungsprüfungen sind zu jedem ordentlichen Prüfungstermin möglich.
Kurse im Modul
| Nr. | Veranstaltung | SWS | Sem. | LP | DozentIn |
|---|---|---|---|---|---|
| 21861 | Grundlagen der Mirkosystemtechnik I (MST) | 2/0 | W | 4 | Saile |
| 21874 | Grundlagen der Mirkosystemtechnik II | 2/0 | S | 4 | Saile |
| 21875 | Praktikum zu Grundlagen der Mirkosystemtechnik | 0/2 | W+S | 2 | Saile/Last/Hein |
| 21864 | BioMEMS - MST für Life Science und Medizin I | 2/0 | W | 4 | Guber |
| 21883 | BioMEMS - MST für Life Science und Medizin II | 2/0 | S | 4 | Guber |
| 21879 | BioMEMS - MST für Life Science und Medizin III | 2/0 | S | 4 | Guber |
| 21876 | Nanotechnologie von Clustern | 2/0 | W+S | 4 | Gspann |
| 21881 | Mikroaktorik | 2/0 | S | 4 | Kohl |
| 21869 | Fertigungsprozesse der Mirosystemtechnik | 2/0 | W+S | - | Bade |
| 21892 | Ausgewählte Kapitel der Optik und Mikrooptik für Maschinenbauer | 2/0 | W+S | - | Mappes |
| 21893 | Replikationsverfahren in der Mikrotechnik | 2/0 | W+S | - | Worgull |
Anmerkungen