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Veranstaltung
Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [WS222143882]
Dozent/en
Einrichtung
- Institut für Mikrostrukturtechnik
Bestandteil von
Literatur
M. Madou
Fundamentals of Microfabrication
CRC Press, Boca Raton, 1997
W. Menz, J. Mohr, O. Paul
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005
L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994
Veranstaltungstermine
- 26.10.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 02.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 09.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 16.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 23.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 30.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 07.12.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 14.12.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 21.12.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 11.01.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 18.01.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 25.01.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 01.02.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 08.02.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 15.02.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016