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Veranstaltung

Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [WS222143882]

Typ
Vorlesung (V)
Präsenz/Online gemischt
Semester
WS 22/23
SWS
2
Sprache
Deutsch
Termine
15
Links
ILIAS

Dozent/en

Einrichtung

  • Institut für Mikrostrukturtechnik

Bestandteil von

Literatur

M. Madou
Fundamentals of Microfabrication

CRC Press, Boca Raton, 1997

W. Menz, J. Mohr, O. Paul

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005

L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994

Veranstaltungstermine

  • 26.10.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 02.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 09.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 16.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 23.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 30.11.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 07.12.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 14.12.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 21.12.2022 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 11.01.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 18.01.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 25.01.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 01.02.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 08.02.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 15.02.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016