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Präsenz
Veranstaltung
Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [SS242143882]
Typ
Vorlesung (V)Präsenz
Semester
SS 2024SWS
2Sprache
DeutschTermine
13Dozent/en
Einrichtung
- Institut für Mikrostrukturtechnik
Bestandteil von
Literatur
M. Madou
Fundamentals of Microfabrication
CRC Press, Boca Raton, 1997
W. Menz, J. Mohr, O. Paul
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005
L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994
Veranstaltungstermine
- 17.04.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 24.04.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 08.05.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 15.05.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 29.05.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 05.06.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 12.06.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 19.06.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 26.06.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 03.07.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 10.07.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 17.07.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 24.07.2024 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
Anmerkung
- Grundlagen der mikrotechnischen Fertigung
- Allgemeine Fertigungsschritte
2.1 Vorbehandlung / Reinigung / Spülen
2.2 Beschichtungsverfahren (vom Spincoaten bis zur Selbstorganisation)
2.3 Mikrostrukturierung: additiv und subtraktiv
2.4 Entschichtung - Mikrotechnische Werkzeugherstellung: Masken und Formwerkzeuge
- Interconnects (Damascene-Prozess), moderner Leiterbahnaufbau
- Nassprozesse im LIGA-Verfahren
- Gestaltung von Prozessabläufen