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Veranstaltung
Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [WS192143882]
Dozent/en
Einrichtung
- Institut für Mikrostrukturtechnik
Bestandteil von
Literatur
M. Madou
Fundamentals of Microfabrication
CRC Press, Boca Raton, 1997
W. Menz, J. Mohr, O. Paul
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005
L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994
Veranstaltungstermine
- 16.10.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 23.10.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 30.10.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 06.11.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 13.11.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 20.11.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 27.11.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 04.12.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 11.12.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 18.12.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 08.01.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 15.01.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 22.01.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 29.01.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 05.02.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)