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Veranstaltung

Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [WS192143882]

Typ
Vorlesung (V)
Semester
WS 19/20
SWS
2
Sprache
Deutsch
Termine
15
Links
ILIAS

Dozent/en

Einrichtung

  • Institut für Mikrostrukturtechnik

Bestandteil von

Literatur

M. Madou
Fundamentals of Microfabrication

CRC Press, Boca Raton, 1997

W. Menz, J. Mohr, O. Paul

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005

L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994

Veranstaltungstermine

  • 16.10.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 23.10.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 30.10.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 06.11.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 13.11.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 20.11.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 27.11.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 04.12.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 11.12.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 18.12.2019 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 08.01.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 15.01.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 22.01.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 29.01.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 05.02.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)