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Veranstaltung

Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [WS232143882]

Typ

Vorlesung (V)
Präsenz/Online gemischt

Semester

WS 23/24

SWS

2

Sprache

Deutsch

Termine

14

Links

ILIAS

Dozent/en

Dr. Klaus Bade

Einrichtung

Institut für Mikrostrukturtechnik

Bestandteil von

Teilleistung Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik | Wirtschaftsingenieurwesen (M.Sc.)
Teilleistung Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik | Technische Volkswirtschaftslehre (M.Sc.)

Literatur

M. Madou
Fundamentals of Microfabrication

CRC Press, Boca Raton, 1997

W. Menz, J. Mohr, O. Paul

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005

L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994

Veranstaltungstermine

25.10.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
08.11.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
15.11.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
22.11.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
29.11.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
06.12.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
13.12.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
20.12.2023 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
10.01.2024 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
17.01.2024 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
24.01.2024 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
31.01.2024 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
07.02.2024 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
14.02.2024 09:45 - 11:15 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016