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Veranstaltung

Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [SS202143882]

Typ
Vorlesung (V)
Semester
SS 2020
SWS
2
Sprache
Deutsch
Termine
14

Dozent/en

Einrichtung

  • Institut für Mikrostrukturtechnik

Bestandteil von

Literatur

M. Madou
Fundamentals of Microfabrication

CRC Press, Boca Raton, 1997

W. Menz, J. Mohr, O. Paul

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005

L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994

Veranstaltungstermine

  • 22.04.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 29.04.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 06.05.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 13.05.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 20.05.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 27.05.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 03.06.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 10.06.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 17.06.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 24.06.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 01.07.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 08.07.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 15.07.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
  • 22.07.2020 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)

Anmerkung

  1. Grundlagen der mikrotechnischen Fertigung
  2. Allgemeine Fertigungsschritte
    2.1 Vorbehandlung / Reinigung / Spülen
    2.2 Beschichtungsverfahren (vom Spincoaten bis zur Selbstorganisation)
    2.3 Mikrostrukturierung: additiv und subtraktiv
    2.4 Entschichtung
  3. Mikrotechnische Werkzeugherstellung: Masken und Formwerkzeuge
  4. Interconnects (Damascene-Prozess), moderner Leiterbahnaufbau
  5. Nassprozesse im LIGA-Verfahren
  6. Gestaltung von Prozessabläufen