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Veranstaltung

Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [SS232143882]

Typ
Vorlesung (V)
Präsenz
Semester
SS 2023
SWS
2
Sprache
Deutsch
Termine
14

Dozent/en

Einrichtung

  • Institut für Mikrostrukturtechnik

Bestandteil von

Literatur

M. Madou
Fundamentals of Microfabrication

CRC Press, Boca Raton, 1997

W. Menz, J. Mohr, O. Paul

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005

L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994

Veranstaltungstermine

  • 19.04.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 26.04.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 03.05.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 10.05.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 17.05.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 24.05.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 07.06.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 14.06.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 21.06.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 28.06.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 05.07.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 12.07.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 19.07.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
  • 26.07.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016

Anmerkung

  1. Grundlagen der mikrotechnischen Fertigung
  2. Allgemeine Fertigungsschritte
    2.1 Vorbehandlung / Reinigung / Spülen
    2.2 Beschichtungsverfahren (vom Spincoaten bis zur Selbstorganisation)
    2.3 Mikrostrukturierung: additiv und subtraktiv
    2.4 Entschichtung
  3. Mikrotechnische Werkzeugherstellung: Masken und Formwerkzeuge
  4. Interconnects (Damascene-Prozess), moderner Leiterbahnaufbau
  5. Nassprozesse im LIGA-Verfahren
  6. Gestaltung von Prozessabläufen