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Präsenz
Veranstaltung
Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [SS232143882]
Typ
Vorlesung (V)Präsenz
Semester
SS 2023SWS
2Sprache
DeutschTermine
14Dozent/en
Einrichtung
- Institut für Mikrostrukturtechnik
Bestandteil von
Literatur
M. Madou
Fundamentals of Microfabrication
CRC Press, Boca Raton, 1997
W. Menz, J. Mohr, O. Paul
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005
L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994
Veranstaltungstermine
- 19.04.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 26.04.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 03.05.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 10.05.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 17.05.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 24.05.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 07.06.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 14.06.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 21.06.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 28.06.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 05.07.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 12.07.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 19.07.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
- 26.07.2023 08:00 - 09:30 - Room: 20.30 Seminarraum 0.016
Anmerkung
- Grundlagen der mikrotechnischen Fertigung
- Allgemeine Fertigungsschritte
2.1 Vorbehandlung / Reinigung / Spülen
2.2 Beschichtungsverfahren (vom Spincoaten bis zur Selbstorganisation)
2.3 Mikrostrukturierung: additiv und subtraktiv
2.4 Entschichtung - Mikrotechnische Werkzeugherstellung: Masken und Formwerkzeuge
- Interconnects (Damascene-Prozess), moderner Leiterbahnaufbau
- Nassprozesse im LIGA-Verfahren
- Gestaltung von Prozessabläufen