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Präsenz
Veranstaltung
Praktikum zu Grundlagen der Mikrosystemtechnik [SS212143875]
Typ
Praktikum (P)Präsenz
Semester
SS 2021SWS
2Sprache
DeutschTermine
0Dozent/en
Einrichtung
- Institut für Mikrostrukturtechnik
Bestandteil von
- Teilleistung Praktikum zu Grundlagen der Mikrosystemtechnik | Wirtschaftsingenieurwesen (M.Sc.)
- Teilleistung Praktikum zu Grundlagen der Mikrosystemtechnik | Wirtschaftsingenieurwesen (B.Sc.)
- Teilleistung Praktikum zu Grundlagen der Mikrosystemtechnik | Technische Volkswirtschaftslehre (M.Sc.)
- Teilleistung Praktikum zu Grundlagen der Mikrosystemtechnik | Technische Volkswirtschaftslehre (B.Sc.)
Literatur
Menz, W., Mohr, J.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH-Verlag, Weinheim, 1997
Unterlagen zum Praktikum zur Vorlesung ' Grundlagen der Mikrosystemtechnik'
Anmerkung
Im Praktikum werden Versuche zu neun Themen angeboten:
1. Heißprägen von Kunststoff-Mikrostrukturen
2. Mikrogalvanik
3. Mikrooptik am Beispiel "LIGA-Mikrospektrometer"
4. UV-Lithographie
5. Optische Wellenleiter
6. Kapillarelektrophorese im Chipformat
7. SAW Gassensorik
8. Messtechnik
9. Rasterkraftmikroskopie
Jeder Studierende kann während der Praktikumswoche nur an fünf Versuchen teilnehmen.
Die Versuche werden an den realen Arbeitsplätzen am IMT durchgeführt und von IMT-Mitarbeitern betreut.