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Veranstaltung

Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [WS212143882]

Typ
Vorlesung (V)
Präsenz/Online gemischt
Semester
WS 21/22
SWS
2
Sprache
Deutsch
Termine
15
Links
ILIAS

Dozent/en

Einrichtung

  • Institut für Mikrostrukturtechnik

Bestandteil von

Literatur

M. Madou
Fundamentals of Microfabrication

CRC Press, Boca Raton, 1997

W. Menz, J. Mohr, O. Paul

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005

L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994

Veranstaltungstermine

  • 20.10.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 27.10.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 03.11.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 10.11.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 17.11.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 24.11.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 01.12.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 08.12.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 15.12.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 22.12.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 12.01.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 19.01.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 26.01.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 02.02.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
  • 09.02.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)