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Veranstaltung
Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [WS212143882]
Dozent/en
Einrichtung
- Institut für Mikrostrukturtechnik
Bestandteil von
Literatur
M. Madou
Fundamentals of Microfabrication
CRC Press, Boca Raton, 1997
W. Menz, J. Mohr, O. Paul
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005
L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994
Veranstaltungstermine
- 20.10.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 27.10.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 03.11.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 10.11.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 17.11.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 24.11.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 01.12.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 08.12.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 15.12.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 22.12.2021 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 12.01.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 19.01.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 26.01.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 02.02.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)
- 09.02.2022 16:00 - 17:30 - Room: 50.41 Raum -108 (UG)