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Präsenz
Veranstaltung
Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [SS222143882]
Typ
Vorlesung (V)Präsenz
Semester
SS 2022SWS
2Sprache
DeutschTermine
14Dozent/en
Einrichtung
- Institut für Mikrostrukturtechnik
Bestandteil von
Literatur
M. Madou
Fundamentals of Microfabrication
CRC Press, Boca Raton, 1997
W. Menz, J. Mohr, O. Paul
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Dritte Auflage, Wiley-VCH, Weinheim 2005
L.F. Thompson, C.G. Willson, A.J. Bowden
Introduction to Microlithography
2nd Edition, ACS, Washington DC, 1994
Veranstaltungstermine
- 20.04.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 27.04.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 04.05.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 11.05.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 18.05.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 25.05.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 01.06.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 15.06.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 22.06.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 29.06.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 06.07.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 13.07.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 20.07.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
- 27.07.2022 15:45 - 17:15 - Room: 50.41 Seminarraum -133 (UG)
Anmerkung
- Grundlagen der mikrotechnischen Fertigung
- Allgemeine Fertigungsschritte
2.1 Vorbehandlung / Reinigung / Spülen
2.2 Beschichtungsverfahren (vom Spincoaten bis zur Selbstorganisation)
2.3 Mikrostrukturierung: additiv und subtraktiv
2.4 Entschichtung - Mikrotechnische Werkzeugherstellung: Masken und Formwerkzeuge
- Interconnects (Damascene-Prozess), moderner Leiterbahnaufbau
- Nassprozesse im LIGA-Verfahren
- Gestaltung von Prozessabläufen